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產(chǎn)品特點：

連接 MCS/MES全自動 Run貨。

內(nèi)建RFID Reader、E84 Sensor。

支持  12 inch FOUP。

振動值符合高階制程<0.35G的要求。

格位數(shù)根據(jù)客戶場地規(guī)劃設(shè)計。