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充氣流量

0 – 50 SLM (MFC 可變流量)

充氣時間

0 – 600 秒

支援設定 Recipe，連接 EAP全自動 Run貨

多種充氣模式

Continue/Recipe/Clean/Idle

實時濕度監(jiān)控

支援 Alarm 與 FDC 功能

內建RFID Reader、E84 Sensor

支援 Entegris ＆SEP 300mm FOUP

可擴充 Monitor Management System